マイクロ電気機械システムセンサーおよびアクチュエータ

MEMS、センサー、アクチュエーター

成長するMEMS、センサー、アクチュエーター市場

ダウでは、お客様の設計ニーズに最適なシリコーンソリューションをご提案します。液体およびフィルム状のダイアタッチ、封止・コーティング材料、導電、放熱、光学材料、ジェットディスペンス対応製品など、幅広い製品群を取り揃えています。

MEMS(微小電気機械システム)、センサー、アクチュエーターは、コンシューマー向け製品や車載システムなど、さまざまなモノになくてはならない基幹技術になっています。スマートフォン、タブレット、またはスマートウォッチなど、これらに搭載されるMEMS、センサー、アクチュエーターは、設計の性能を向上させると同時に、ユーザーにより安全なデバイスをもたらします。また、自動車用途においては、電子制御システムの性能を向上させ、運用コストを削減し、顧客の安全性を向上させることができます。

お客様が次世代の電子機器、モジュール、システムなどを開発の際には、是非、ダウが提供するMEMS、センサー、アクチュエーター向けシリコーンソリューションをご検討ください。最新のジェットディスペンスなど、お客様のプロセスに関して知見のあるエキスパートがご対応します。

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DOWSIL™ シリコーンホットメルトフィルム

液状シリコーンと比較し、シリコーンホットメルトフィルムの特徴や利点(接着性、ギャップフィル性、応力緩和性)をご紹介します。

MEMS、センサー、アクチュエーター用途

前MEMS向けシリコーン製品(ダイアタッチ、ダイアタッチフィルム、ポッティング、ゲル、リッドシール、EMIシールディング、封止材、グローストップ)
展開前MEMS向けシリコーン製品(ダイアタッチ、ダイアタッチフィルム、ポッティング、ゲル、リッドシール、EMIシールディング、封止材、グローストップ)

MEMSセンサー向けシリコーン製品群

ダイアタッチ材

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製品名製品の特長粘度 
[mPa.s]
弾性率 
[MPa]
硬させん断接着強さ(Si) 
[MPa]
ME-2010高モジュラス 
透過性
23,000-D 578.2
ME-1190ジェットディスペンス対応 
高モジュラス
3,500370D 597.4
ME-1180ジェットディスペンス対応 
応力緩和性
5,60023.4A 815.5
ME-1070高チクソ 
高接着
37,00012.2A 7411
7920-LVジェットディスペンス対応 
高接着
22,0007.2A 689.0
ME-1140ジェットディスペンス対応 
良好な応力緩和性
5,4002.1A 393.8
ME-1030優れた応力緩和性 
低分子シロキサン極限カット
14,0001.7A 280.8
ME-1800導電 
放熱
150,000370A 813.9

封止材 - ポッティング用ゲル

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製品名製品の特長外観・色粘度 
[mPa.s]
弾性率 
[MPa]
硬さ
ME-4200優れた耐寒性 
(-60℃まで安定な弾性率)
クリア3,700-(Gel)
ME-4201優れた耐寒性 
(-60℃まで安定な弾性率)
クリア4,4000.07(Gel)
ME-44xx溶剤耐性 
良好な流れ性
クリア 
黒色
1,100-(Gel)
X3-6211UV 硬化タイプクリア900-(Gel)
3-6371UV + 湿気硬化併用タイプクリア900-(Gel)

封止材 – グローブトップ、ワイヤー封止用エラストマー

ここに報告されているデータは、弊社標準の検査方法とは異なる方法で提供されているため、必ずしも製品特性表やテクニカルデータシートのデータと一致するとは限りません。

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製品名製品の特長外観・色粘度
[mPa.s]
弾性率
[MPa]
硬さ
ME-4120ジェットディスペンス対応
優れた応力緩和性
クリア
黒色
3,4000.9A 17
ME-4139高チクソ(グローブトップ用)
優れた応力緩和性
黒色45,000-A 28
ME-4320優れた耐寒性
(-60℃まで安定な弾性率)
クリア7,7000.8A 22
ME-6820良好な応力緩和性
高接着
黒色6,0001.6A 50
ME-1140ジェットディスペンス対応
良好な応力緩和性
クリア
5,4002.1A 39
7920-LVジェットディスペンス対応
高接着
22,0007.2A 68
ME-1180ジェットディスペンス対応
応力緩和性
クリア
5,60023.4A 81

シリコーンの有用性

有機材料と比較してダウのシリコーンは、幅広い温度範囲において安定した柔らかさと応力緩和性が維持できるので、センシング精度の向上を可能にします。特に低温領域において、材料が硬くなることによる剥離やクラックのリスクを低減します。シリコーンの優れた耐熱性、低吸湿性、耐薬品性により、「オープンパッケージ」タイプのセンサーを外部環境から保護することが可能です。

MEMS用シリコーン製品の特長

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お客様のニーズダウのMEMS用シリコーン製品の特長
応力緩和特性低モジュラス特性(0.1~100MPa)
良好な温度特性幅広い温度で安定なモジュラス特性(-40 ~ +260℃)
保護性能良好な絶縁性と物理特性
高信頼性優れた耐熱・耐候性、熱応力特性、ブリード低減品
微細化ジェットディスペンス用製品
生産性向上塗布厚管理を容易にするレオロジー特性の最適化
有機材料とシリコーンの熱応力特性比較/有機材料とシリコーンの熱応力比較

非接触、高精細、微小塗布を可能にするジェットディスペンサーに対応可能なシリコーン製品

一般的なシリコーン製品は、高粘度タイプだとディスペンス時の糸引き、詰まりが発生しやすく、また低粘度タイプでは、ディスペンス後に液滴が広がりやすく、ファインラインや微細塗布が難しいとされてきました。ダウではジェットディスペンスにおける材料のレオロジー特性に着目し、DOWSIL™ ME-11XXシリーズを開発しました。良好なジェットディスペンス性を実現し、着弾後の液滴の広がりを抑え、ファインラインや微細塗布が可能となっています。

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シリコーン製品を用いたジェットディスペンシング

フィラー含有シリコーンのジェットディスペンスによる非接触、高速ドット塗布の様子。

青い回路

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